一种稀土掺杂二氧化锆固体电解质纳米晶薄膜的制备方法

本发明涉及一种稀土掺杂二氧化锆固体电解质纳米晶薄膜的制备方法。该方法的特征在于：以稀土无机盐和锆无机盐为原料，聚乙二醇为成膜剂，乙醇/水混合溶剂为分散剂，制成涂渍液，在单晶硅或石英基片上通过多次涂覆，制得所需厚度的薄膜，将该薄膜退火后，可得稀土掺杂二氧化锆固体电解质纳米晶薄膜。该方法具有操作简单，成本低，适用性强等特点。所制备的薄膜具有表面平整、无裂缝、无针孔、颗粒均匀致密、相态纯净和电导性能优异的特点。