铈系研磨材料及其制造方法

本发明的目的是提供只要与水等分散介质混合、 就可调制出研磨材料粒子的分散状态被长时间维持的铈系研 磨材料淤浆、且研磨完毕的研磨材料淤浆的后处理简单的粉末 状铈系研磨材料。本发明的铈系研磨材料是包含含氯化合物的 铈系研磨材料，其中所含的氯(元素)的总质量相当于铈系研磨 材料中所含的全部稀土氧化物的质量的0.05％～5.0％。以该研 磨材料为固形成分的研磨材料淤浆中的研磨材料粒子的分散 维持性良好。因此，能够连续地供给固形成分浓度稳定的研磨 材料淤浆。此外，不需要维持分散状态的分散剂。研磨材料使 用后，不需要分散剂的分离处理，所以，使用完毕的研磨材料 淤浆的后处理简单。