溶胶－凝胶法稀土纳米膜的制备方法

一种溶胶—凝胶法稀土纳米膜的制备方法，属于 薄膜制备领域。本发明对单晶硅片进行预处理，将单晶硅片浸 泡在王水中，使用电炉加热王水，在室温中自然冷却，将单晶 硅片取出，用去离子水反复冲洗，放入干燥皿中干燥；或者采 用羟基化对玻璃基片进行预处理，用Pirahan溶液于室温下处 理，再用大量去离子水淋洗、干燥；将处理后的基片浸入配置 好的溶胶溶液，静置后提拉，然后在干燥器中静置，放入烘箱 中干燥，或者重复上述操作准备多层薄膜；把覆有薄膜的单晶 硅片或玻璃基片放入马弗炉保温，缓慢升温至500℃，保温在 炉内自然冷却至室温即可得到稀土纳米薄膜。本发明可以将摩 擦系数从无膜时的0.5降低到0.2，具有十分明显的减摩作用。