铈系研磨材料

本发明的目的在于提供一种铈系研磨剂，其能够实现更高的研磨速度并且产生更少的划痕。 根据本发明的铈基磨料包含稀土氧化物作为主要组分，该稀土氧化物包括氟，以及作为稀土元素的至少铈镧，镨和钕。 在铈基磨料中，氧化钕的含量与总稀土氧化物(Nd2O3/TREO)的含量的比例为0.001～5.0wt%。 与传统的铈基研磨剂相比，用该研磨剂研磨诸如玻璃之类的待研磨物体将需要更短的时间。 另外，本发明的研磨剂能够可靠地抑制在抛光面上产生划痕。