热机抛光钻石膜之设备及方法

一种热机抛光钻石膜之设备及方法，系可用以对一工件上的钻石膜表面进行抛光，包括成轴向垂直配置且俱可高速转动的第一转轴与第二转轴，其中，该第一转轴系由可於高温下与钻石进行化学反应之过渡金属或稀土族材料所制成，且其圆周表面上系定义有一预定加热区，该第二转轴则可朝该第一转轴进行轴向移动，以令其一端轴向承载座上所承载之钻石膜工件可与该第一转轴上的预定加热区接触，并藉一加热单元对该预定加热区所进行之加热，俾使该工件上之钻石膜表面可於与该预定加热区接触时产生化学反应并进行钻石移除之热机抛光，进而达成提昇抛光速率与降低习知设备成本之功效。