一种去除惰性气体中杂质的材料及其使用方法

一种去除隋性气体中杂质的材料及其使用方法，涉及一种去除惰性气体氙、氪中的氟碳化合物杂质的材料及其使用方法。其特征在于该合金的重量百分比组成为：含铝10％-25％，含铪1％-2％，镧系稀土0.4％-5％，镍1％-3％，余量为锆和不可避免的杂质。其使用过程是在700℃-960℃温度，将进行活化处理2-3小时；在400℃-960℃温度下进行吸附气体杂质的气体净化过程，控制气体流量为0.5m3/h-10m3/h，工作压力为0.3 MPa-1.5MPa。本发明的惰性气体净化材料，不吸收惰性气体，特别具有清除氟碳化合物(CF4、C2F4)等特殊性质。纯化后惰性气体纯度大于99.9999％，O2小于0.5ppm，氟碳化合物含量小于3ppm。