一种纳米复合稀土永磁薄膜材料

一种纳米复合稀土永磁薄膜材料，由衬底、缓冲层、硬磁相和软磁相交叠层及保护层依次组成，其特征在于：所述衬底为陶瓷玻璃、玻璃或Si；所述缓冲层为Ti、Cr、Ta、Mo、Nb或V中的一种，厚度为0.5～100nm；所述硬磁相和软磁相交叠层分别为，硬磁相为R(Fe，T，B)z，其中R是稀土元素，z＝2～8，T是合金元素Co和Nb，Co的原子百分比为0.1～57％，Nb的原子百分比为3％，B的原子百分比为0.6～20％，剩余的部分由Fe进行平衡，厚度为1～500nm；软磁相为Fe、Co或FeCo合金，厚度为1.5-50nm；硬磁相层和软磁相层的层数分别在1～200层之间。