有耐腐蚀膜的稀土金属为基础的永磁体及其生产方法

本发明提供一种生产在其表面上有含特定平均粒度的并分散在由硅化合物形成的膜相中的无机细颗粒的耐腐蚀膜的稀土金属为基础的永磁体的方法。在形成膜的热处理中，通过硅化合物的水解反应和热分解反应，随后的聚合反应，通过膜的收缩在膜内产生应力。但是，用本发明的生产方法形成的耐腐蚀膜中，由于无机细颗粒的存在，这样的应力被消散，因此抑制了物理缺陷例如裂纹的产生。