溶胶-凝胶法稀土纳米膜的制备方法
2022-07-31
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一种溶胶-凝胶法稀土纳米膜的制备方法,属于薄膜制备领域。本发明对单晶硅片进行预处理,将单晶硅片浸泡在王水中,使用电炉加热王水,在室温中自然冷却,将单晶硅片取出,用去离子水反复冲洗,放入干燥皿中干燥;或者采用羟基化对玻璃基片进行预处理,用Pirahan溶液于室温下处理,再用大量去离子水淋洗、干燥;将处理后的基片浸入配置好的溶胶溶液,静置后提拉,然后在干燥器中静置,放入烘箱中干燥,或者重复上述操作准备多层薄膜;把覆有薄膜的单晶硅片或玻璃基片放入马弗炉保温,缓慢升温至500℃,保温在炉内自然冷却至室温即可得到稀土纳米薄膜。本发明可以将摩擦系数从无膜时的0.5降低到0.2,具有十分明显的减摩作用。