单晶硅片表面制备巯基硅烷－稀土纳米复合薄膜的方法

一种单晶硅片表面制备巯基硅烷－稀土纳米复 合薄膜的方法，将表面经过处理的单晶基片作为基底材料，在 其表面采用自组装方法制备巯基硅烷－稀土纳米薄膜，首先将 单晶硅片放入王水中，对单晶硅片进行预处理，清洗、干燥后， 浸入巯基硅烷溶液中，静置8小时后取出，冲洗后用氮气吹干 置于由稀土化合物、乙醇、乙二胺四乙酸、氯化铵、尿素及硝 酸组成的稀土自组装溶液中进行组装，即获得巯基硅烷－稀土 自组装纳米薄膜。本发明工艺方法简单，在单晶硅片表面制备 的稀土自组装薄膜有明显减摩、耐磨作用。