包含硅基稀土掺杂发光材料的电致发光器件的制备方法

一种包含硅基稀土掺杂发光材料的电致发光器 件，在稀土离子注入的基础上，利用大剂量的杂质离子注入的 办法在硅基二氧化硅薄膜里引入大量的非桥键氧原子，这种非 桥键氧原子和稀土离子结合形成有效的稀土发光中心，其中包 括：一p－型或n－型硅衬底；一掺杂层，该掺杂层制作在硅 衬底上，该掺杂层是在硅衬底上生长的二氧化硅上用离子注入 的方法形成的，该掺杂层是发光器件的有源区；一n－型或p －型多晶硅层，该n－型或p－型多晶硅层制作在掺杂层上； 一二氧化硅隔离层，该二氧化硅隔离层生长在掺杂层和多晶硅 层上；一电极，该电极制作在n－型或p－型多晶硅层上；另 一电极，该电极制作在p－型或n－型硅衬底上；在二氧化硅 隔离层表面留有一出光口。