单晶硅片表面制备巯基硅烷－稀土自润滑复合薄膜的方法

一种单晶硅片表面制备巯基硅烷－稀土自润滑 复合薄膜的方法，将表面经过处理的单晶硅片作为基底材料， 在其表面采用自组装方法制备巯基硅烷，然后用溶胶－凝胶法 在其表面制备含有稀土元素的纳米薄膜。首先将单晶硅片放入 王水中进行预处理，清洗后置入羟基化溶液在室温下进行处 理，然后再浸入巯基硅烷溶液中，静置6～8小时后取出，冲 洗后用氮气吹干置于配制好的溶胶溶液中静置，提拉，然后干 燥，或者重复上述操作制备多层薄膜；把覆有复合薄膜的单晶 硅片放入马弗炉保温，缓慢升温至500℃，在炉内自然冷却至 室温即可得到稀土纳米薄膜。本发明工艺方法简单，可以将摩 擦系数从无膜时的0.8降低到0.1，具有十分明显的减摩作用。