高品质高k过渡金属与稀土族氧化物的原子层沉积

在施以金属先质脉冲之前，增加氧化剂的连续脉冲数，可改善所得金属或稀土金属氧化物膜之品质。这些金属和稀土金属氧化物膜可用於高介电常数闸极(gate)介电物。此外，在预稳定期间内之氧化剂脉冲有其优点。此外，使用的氧化剂脉冲数比先质脉冲数来得多会降低所得膜的氯浓度。