稀土纳米颗粒及纳米晶材料制备方法及其设备

本发明属纳米材料领域。颗粒制造：物理气相沉 积，稀土为阳极，钨为阴极，氦气保护下，50－400A，10－50V， 起弧0.5－5小时制成纳米颗粒。晶材料制造：上述纳米颗粒置 入惰性气体保护的预处理室，装入模具预压成型，压力10－ 1000MPa；惰性气体保护下，放电等离子烧结：温度200－500 ℃，压力30－1000MPa，保温0－10min，升温速率为20－100 ℃/min。设备依次包括物理气相沉积部分(1)，粉末捕集机构(2)， 传递机构(3)，预处理部分(4)，烧结成型部分(5)，各部分均有 真空泵和惰性气瓶，置入有惰性保护气氛的手套箱中；预处理 部分(4)和烧结成型部分(5)有气体循环净化装置。本发明颗粒粒 度均匀，粒径小于100纳米；晶块体材料致密度高，晶粒细小、 均匀，单相性好。