混合稀土金属类氧化物、混合稀土金属类氟化物及使用此等之铈系研磨材料、以及此等之制造方法

本發明係提供研磨速度快速，經長期間可維持快速研磨速度，且製造步驟簡單，廉價鈰系研磨材料的製造方法。於1000℃的溫度加熱1小時之燒減量為乾燥質量基準之0.5質量％以下，且微晶徑為200以上400以下，用於製造鈰系研磨材料的混合稀土金屬氧化物。又該燒減量以乾燥質量基準為3～15％，用於製造鈰系研磨材料的混合稀土金屬氟化物。又，自此等的混合稀土金屬氧化物或混合稀土金屬氟化物製造鈰系研磨材料的方法，以及由其所得的鈰系研磨材料。