单晶硅片表面自组装聚电解质－稀土纳米薄膜的制备方法

本发明涉及一种单晶硅片表面自组装聚电解 质－稀土纳米薄膜的制备方法。首先将单晶硅片浸入Pirahan 溶液预处理，然后再交替重复浸入带正电的聚二烯丙基二甲基 氯化氨溶液和带负电的聚苯乙烯磺酸钠溶液中，在基片表面组 装多层聚电解质薄膜，最后将表面附有负电的聚电解质薄膜的 基片置入由乙醇65～85％，稀土化合物3.5～7％，乙二胺四乙 酸1～4％，氯化铵2～5％，尿素10～25％，37％的浓盐酸0.5～ 1.5％配制的稀土自组装溶液中，获得聚电解质－稀土自组装纳 米薄膜。本发明工艺简单，成本低，对环境无污染，制得的稀 土纳米薄膜分布均匀，成膜致密，且具有十分明显的减摩作用， 具有良好的抗磨损和抗粘着性能。