抛光组合物和抛光方法

2022-07-31 3310 397K 0
抛光浆包括(按重量百分数计):0.1-50金属含氧酸促进剂,0.5-50氧化铈磨蚀颗粒,其余为水。金属含氧酸促进剂中的金属选自铬、镧、原子序数为59-71的稀土金属、锰、钼、铌、锇、铼、钌、钛、钨、钒、钇和锆。


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