稀土类金属络合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法

本发明的稀土类金属络合物是以下述通式(I)表 示的稀土类金属的三仲丁基环戊二烯基络合物，其在耐热性和 挥发性方面优异，是适用于薄膜形成用原料的液态稀土类金属 络合物，式中，M表示稀土类金属原子。