用于稀土－钡－铜－氧化物薄膜生长的高产量异位方法

本发明提供了一种高产量的系统，它通过加热涂 覆了REBCO前体的有缓冲层的金属衬底带，从而在连续长度 的有缓冲层的金属衬底带上面异位地形成诸如稀土－钡－铜 的氧化物(REBCO)等超导薄膜。当在工艺室内对这些前体进行 加热并引入水蒸汽时，它们发生分解，从而在缓冲层外沿形成 功能性的超导薄膜。带有为产生一个很长且很宽的沉积区域而 设计的喷头和衬底加热器组件的反应器，如有机金属化学蒸汽 沉积(MOCVD)反应器，很适用于本系统的这一工艺。该工艺 室在不加热炉壁的场合中可以是冷壁型的，而在加热炉壁的场 合中可以是热壁型的。