三氧化二钇烧结体、稀土类烧结体以及耐腐蚀性构件、其制造方法

本发明系为提供高密度且耐电浆蚀刻性优越之三氧化二钇(Y2O3)烧结体以及稀土类氧化物烧结体。本发明系使三氧化二钇(Y2O3)烧结体以含有三氧化二钇(Y2O3)之结晶以及Y3BO6(硼酸钇)结晶作为该烧结体之构成结晶所构成。为了取得三氧化二钇(Y2O3)烧结体, 需於三氧化二钇(Y2O3)粉末中, 将硼化合物换算为氧化硼(B2O3), 以0.02重量%以上未达10重量%之比例添加, 使混合粉末成型後, 於1300℃以上未达1600℃下使其烧结。