单晶硅制备中稀土镧系基合金吸气剂提纯氩气与氩气回收工艺

本发明公开了一种新型的稀土镧系基合金吸气剂(CFO1剂)，它由65％稀土镧系金属元素与35％金属元素组成，其中的稀土镧系金属为镧、铈、镨、钕；金属元素为铁、钛、镁、铜、锌。本发明还公开了单晶硅制备中采用CFO1剂提纯氩气的方法，包括(1)采用CFO1剂提纯廉价非高纯氩气制备高纯氩气用于单晶硅制备工艺(2)采用CFO1剂进行区熔单硅晶氩气提纯循环回收工艺(3)采用CFO1剂进行直拉单晶硅氩气提纯循环回收的工艺(4)采用CFO1剂进行区熔、直拉单晶硅氩气提纯回收(非循环)生产再生高纯氩气工艺。本发明的CFO1剂的综合吸气性能和性价比要高于目前常用的吸气剂，同时对单晶制备中排放的废氩进行回收再利用，不仅可以大大提高经济效益，而且节省能源保护环境。