一种球形氟氧化镧铈稀土抛光液

本发明公开一种球形氟氧化镧铈稀土抛光液，包含抛光液的固含量为10～20wt％，分散剂占抛光液总量的0.3％～1.5％wt％，抛光助剂占抛光液总量的0.2％～0.8％wt％；pH调节剂的用量以抛光液pH值达到8～11为准，球形氟氧化镧铈抛光粉中氟的质量分数为球形氟氧化镧铈抛光粉总质量的2～8wt％，铈的质量分数为球形氟氧化镧铈抛光粉总质量的63～67wt％；依次通过通过沉淀、氟化、脱水与干燥、焙烧、粉碎以及抛光液配制的步骤制得，采用急冷的降温方式，得到的氟氧化镧铈抛光粉尺寸小、粒径分布曲线窄，中位粒度在0.7um～0.9um之间，配置成抛光液抛光时不会产生划伤和刺激性气味，且粉末中无需加入氧化镨，降低成本。