单晶硅片表面自组装聚电解质-稀土纳米薄膜的制备方法

本发明涉及一种单晶硅片表面自组装聚电解质-稀土纳米薄膜的制备方 法，首先将单晶硅片浸入Pirahan溶液预处理，然后再交替重复浸入带正电的聚 二烯丙基二甲基氯化氨溶液和带负电的聚苯乙烯磺酸钠溶液中，在基片表面组 装多层聚电解质薄膜，最后将表面附有负电的聚电解质薄膜的基片置入由乙醇 65～85％，稀土化合物3.5～7％，乙二胺四乙酸1～4％，氯化铵2～5％，尿素 10～25％，37％的浓盐酸0.5～1.5％配制的稀土自组装溶液中，获得聚电解质 -稀土自组装纳米薄膜。本发明工艺简单，成本低，对环境无污染，制得的稀 土纳米薄膜分布均匀，成膜致密，且具有十分明显的减摩作用，具有良好的抗 磨损和抗粘着性能。