一种抛光用超细氧化铈的制备方法

本发明涉及一种超细氧化铈的制备方法，属于稀土化合物的制备技术领域。其特点是：制备含有铈离子的盐溶液，然后在该溶液中加入表面活性剂，让上述溶液先与一种碱性物质接触，控制反应悬浮液的pH值，生成沉淀物，然后该悬浮液用草酸进行转化，控制反应终点的pH值，最后过滤、洗涤、干燥该沉淀物，在600～1000℃下灼烧，得到粒径在10nm～3μm之间，比表面积小于50m2/g的超细氧化铈，该超细氧化铈主要用做抛光材料，特别是用于光掩模的抛光。本发明得到小颗粒的沉淀物，用草酸转型，可以控制超细氧化铈产品的晶型，使其适合于抛光。同时本发明制备抛光用超细氧化铈，粒度分布均匀、形状一致性好，适合工业化生产，成本较低。