合成石英玻璃基板用研磨剂及其制造方法以及合成石英玻璃基板的研磨方法

本发明系一种合成石英玻璃基板用研磨剂其系包含研磨粒子及水而成之合成石英玻璃基板用研磨剂其特征为：前述研磨粒子系以二氧化矽粒子作为母体粒子于该母体粒子之表面上担持有铈与由铈以外的其他3价稀土类元素所选出的至少1种稀土类元素之复合氧化物粒子者。借此提供一种合成石英玻璃基板用研磨剂其系具有高的研磨速度同时能充分减低因研磨所致的缺陷之发生。