金刚石膜的固态稀土金属高速抛光装置

金刚石膜的固态稀土金属高速抛光装置，包括抛光头、金刚石膜具、金刚 石膜、辅助加热装置，金刚石膜为球面状，抛光头为碗状、金刚石膜具有与抛 光头相对设置，并有一定间隙，金刚石膜位于金刚石膜具与抛光头之间，并固 定在抛光头上，金刚石膜具和抛光头分别各自安装在一电动机的动力输出轴上。 本实用新型具有抛光效率高，抛光质量好、成本低等优点，而且由于抛光过程 中热化学反应环境仅在金刚石膜和抛光盘接触表面间形成，抛光盘整体温度低， 热变形小，抛光盘不会对金刚石膜边缘产生过蚀，既可用于平面金刚石膜抛光， 又可用于曲面金刚石膜抛光，抛光过程不需要在真空抛光反应室进行，设备简 单，工作可靠。