用于顶部籽晶泡生法生长大尺寸钒酸钇晶体的金属发热体

2022-07-27 1890 429K 0
一种用于顶部籽晶泡生法生长大尺寸钒酸钇晶体的金属发热体,主要是 保温罩、吊筒和盖板围成的空间内生长大尺寸钒酸钇和稀土掺杂钒酸钇晶体 的温场,在温场内设置有坩埚,坩埚的底部通过托碗和托杆支撑,并在坩埚 的底部和托碗之间设置垫砖,坩埚的内部放置有晶棒,通过籽晶和籽晶杆连 接在一起,其特征在于:所述坩埚的外部设置有金属发热丝缠绕绝缘槽路构 成的金属发热体,在所述金属发热体的两端电极接入端通过一密封性很好的 转接口穿过炉壳与外部电源相连。有益效果是金属发热体可以提供晶体生长 所需要的高温,同时可以提供适合多种晶体生长所需要的温度梯度,解决了 大尺寸晶体生长的难题。


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