成膜方法和成膜装置以及永磁铁和永磁铁的制造方法

本发明涉及成膜方法和成膜装置以及永磁铁和永磁铁的制造方法，提供一种真空 处理装置，具有：处理室，其可真空排气；加热手段，其加热所述处理室内；保持手 段，其在所述处理室内分别保持散块体金属蒸发材料和被处理物；在所述处理室的减 压状态下使所述加热手段动作，将处理室加热到至少使金属蒸发材料蒸发的温度在处 理室内形成金属蒸汽气氛，所述蒸汽气氛中的金属原子附着到被加热的被处理物表 面。所述金属蒸发材料至少包含Dy、Tb中的一种，所述被处理物为具有规定形状的 铁-硼-稀土系烧结磁铁，可控制该烧结磁铁的加热温度使所述烧结磁铁表面附着的金 属原子扩散到其晶界中。保持所述烧结磁铁及金属蒸发材料的保持部件由不与Dy或 Tb反应的材料构成。