一种气相法用高纯三氯化铝料盘的清洗方法

本发明属于光纤预制棒制备技术领域，更具体地，涉及一种气相法用高纯三氯化铝料盘的清洗方法。在气相法制备掺稀土光纤预制棒时，由于三氯化铝需要在150℃以上的高温下才能形成一定的饱和蒸气压，盛放三氯化铝高纯粉末的料盘在使用过程中会残留大量的粉末，这些粉末粘接紧密、腐蚀性极强。本发明通过对料盘进行氢氧化钠水溶液的超声波既可以中和三氯化铝水解是的盐酸、又可以溶解掉废渣而形成可溶解的铝盐；通过不起毛纸擦拭和去离子水的反复冲洗可以确保料盘的洁净度；另外本发明中清洗流程和方法具备操作简便、成本低、安全可靠的特点。