官能化烷氧基稀土金属镧配合物及其合成方法与应用

本发明公开一系列官能化烷氧基稀土金属镧配合物的合成方法是在惰性气体N2或者Ar保护下，等摩尔量官能化烷氧基的配体与正丁基锂在-50℃-0℃下反应2-4小时，反应得到官能化烷氧基锂盐；三氯化镧和官能化烷氧基锂(物质的量比为1 : 3)在无水有机溶剂中，反应48-72小时后，将得到的澄清溶液抽干，经有机低极性溶剂萃取，过滤，滤液浓缩，冷冻结晶得到配合物。该类配合物具有挥发性好，活性高，合成简单，产率高，成本低等优点，可以作为ALD前驱体制备得到致密和均匀的高K材料薄膜，薄膜厚度为4.2nm。