由掺杂稀土金属氧化物奈米粒子於二氧化矽玻璃组成具有巨大介电系数及磁介电效应的复合介电材料及其制造方法

一种由掺杂稀土金属氧化物奈米粒子於二氧化矽玻璃组成具有巨大介电系数及磁介电效应的复合介电材料及其制造方法，其复合介电材料掺杂有稀土金属氧化物奈米粒子，该奈米粒子嵌於二氧化矽玻璃基材内，且该稀土金属氧化物奈米粒子与二氧化矽之玻璃复合物系由溶胶-凝胶法加以合成制备。该玻璃复合物之介电值明显高於纯稀土金属氧化物之介电值。在磁场作用下，该玻璃复合物之介电值有显着的提升。由於磁矩及晶格应变之间的强力耦合相关於奈米粒子尺寸及其间隔且可藉由适当退火处理该玻璃复合物来调控该尺寸及间隔，故能藉此提升磁介电效应。因此，本发明掺杂有该玻璃复合物之介电层有利於应用在半导体晶圆上，以实现积体电路的微型化。