通过原子层沉积形成混合稀土氧化物和铝酸盐薄膜的方法

本发明提供了一种沉积栅极电介质的方法，所述栅极电介质包括至少两种氧化物形式或铝酸盐形式的稀土金属元素。所述方法包括将衬底(25，92)布置在处理室(10)中以及将衬底(25，92)暴露于包含第一稀土前驱体的气体脉冲并暴露于包含第二稀土前驱体的气体脉冲。衬底(25，92)还可任选地被暴露于包含铝前驱体的气体脉冲。在每个前驱体气体脉冲之后，将衬底(25，92)暴露于含氧气体的气体脉冲。在替代性实施方式中，第一和第二稀土前驱体可一起被脉冲，并且二者之一或全部可与铝前驱体一起被脉冲。第一和第二稀土前驱体包含不同的稀土金属元素。可重复这种顺序暴露步骤，以沉积具有期望厚度的混合稀土氧化物或铝酸盐层(96)。还可以在每个气体脉冲之后进行吹扫或排空步骤。