铈基混合稀土抛光粉的制备方法

本发明公开了一种铈基混合稀土抛光粉的制备方法，包括如下步骤：(1)将氯化稀土溶解与水中，加入双氧水、氟硅酸和硫酸，加热，碳酸氢铵溶液沉淀至pH为6.5-7，保温，离心脱水，干燥，得部分氟化的碳酸稀土；(2)将氯化稀土溶解在水中，用碳酸氢铵溶液沉淀至pH值为6.5-7后，离心脱水，干燥，得碳酸稀土；(3)将部分氟化的碳酸稀土与碳酸稀土混合，粉碎，质量比为1∶0.35～1∶1.5；(4)950～1100℃焙烧4～6h，得前驱体；(5)将前驱体经粉碎、分级，得铈基混合稀土抛光粉。本发明耐磨性好，抛光速率快，抛光精度容易控制，成本低、无污染，适用于精密器件的表面抛光加工。