金属镧靶之保存方法、真空密封之金属镧靶及使用金属镧靶藉由溅镀所形成之薄膜

一种金属镧靶之保存方法，系用以保存金属镧溅镀靶之方法，其特徵在於：加工成使事先待保存之金属镧靶表面的粗糙度Ra在1μm以下，接着将该形成有三氟化镧之皮膜的金属镧靶装进透氧率为0.1cm 3 /m 2 ．24h．atm以下、水蒸气透过率为0.1g/m 2 ．24h以下的真空包装中後，对真空包装进行真空抽吸及密封加以保存。对为稀土金属之金属镧靶的保存方法进行改进，提供一种抑制因空气残留及侵入造成靶氧化所导致的粉末化现象，并且可於可使用作为溅镀靶之状态下作长时间保存的技术。