一种稀土复合刚玉微粉抛光液

本发明涉及工业生产加工中使用的磨具，是一种稀土复合刚玉微粉抛光液，其特征是：其重量百分比组份为：稀土复合刚玉微粉15-40，聚乙二醇脂肪酸酯分散剂1-12，脂肪醇聚氧化烯醚1-15，乙醇10-20，四甲基氢氧化铵1-5，辅助剂1-10，着色剂1-5，余量为高纯去离子水；本发明抛光液可减少传统抛光对工件表面增加的不必要损害，避免金属离子污染，使用更安全，加工质量高、速度快，效果明显，抛光液特别适合用于加工集成电路芯片、硅片。