氟氧化镧铈稀土抛光液及其制备方法

2022-07-19 4690 422K 0
本发明提供了一种氟氧化镧铈稀土抛光液及其制备方法,所述氟氧化镧铈稀土抛光液,以水为载体,含有氟氧化镧铈抛光粉、分散剂和pH值调节剂;分散剂的含量为抛光液总质量的0.5~1wt%,pH值调节剂的用量,以抛光液pH值达到8.5-10.0为准,所述抛光液质量固含量为25-45wt%,铈占镧铈总质量的60-80wt%,氟的质量分数为氟氧化镧铈总质量的3-5wt%。本发明对氧化硅玻璃具有悬浮性稳定性高、抛光速率快、划伤少和耐磨性高的性能特征,对应稀土颗粒粒度小,通过添加pH值调节剂和有机分散剂,从而延缓了液料中磨料的沉降,提高了抛光液对玻璃基片的抛光速率,并减少了划伤的发生。


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