精密型铈锆基固溶体稀土抛光粉及其制备方法

2022-07-19 4800 247K 0
本发明公开了一种精密型铈锆基固溶体稀土抛光粉及其制备方法,精密型铈锆基固溶体稀土抛光粉,含有如下重量份的组分:氧化铈50-95%,氧化锆5-40%,氧化铁0.1-10%。采用本发明制备的抛光粉,具有成本低,抛光粉的悬浮性小,耐磨性高,抛光粉的有效利用率高,产品质量稳定等优点,可应用于液晶显示、光学元件、集成电路等领域的精密抛光加工。


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