MOCVD生长氮化镓晶片的尾气处理、回收和循环使用装置

MOCVD生长氮化镓晶片的尾气处理、回收和循环使用装置主要包括：MOCVD装置(1)、精密过滤器(2)、压缩机(3)、氨分离器(4)、液氨钢瓶(5)、氨纯化装置(6)、钯管纯化器(7)。来自MOCVD生长氮化镓半导体发光材料产生的含氨、含氢废气首先通过精密过滤除去和回收稀土金属颗粒，再通过压缩冷冻除去和回收高纯氨，然后通过钯管纯化器分离除去和回收高纯氢，实现绿色生产，属于节能环保领域。