稀土抛光粉的制备方法

本发明公开了一种稀土抛光粉的制备方法，包括如下步骤：(1)将碳酸稀土与水混合，然后加入矿化剂，陈化，得碱式碳酸稀土浆液；(2)将氢氟酸溶液加入到碱式碳酸稀土浆液中，搅拌1-3h，脱水，得氟碳酸稀土；(3)将氟碳酸稀土进行焙烧，得氟氧化稀土；(4)将氟氧化稀土粉碎、分级，得稀土抛光粉。通过本发明的方法，可得到特定晶型的抛光粉，保证了抛光粉颗粒的尺寸大小和形貌的均匀度，不产生影响抛光精度及速率的游离态氟离子及氟化物，结晶度高；产品抛光粉的耐磨性好，抛光速率快，抛光精度容易控制；产品的均一性好，生产效率高，成本低、无污染，适用于集成电路、平面显示、光学玻璃等电子信息产业精密器件的表面抛光加工。