一种含镨超细高精密度稀土抛光粉及其制备方法
2022-07-19
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本发明公开了一种含镨超细高精密度稀土抛光粉及其制备方法,该抛光粉作为研磨材料,含有氧化铈、氧化镧、氧化镨,稀土总量TREO在92wt%以上,其中CeO2/TREO=60~70%、La2O3/TREO=30~35%、Pr6O11/TREO=2~7%、Nd2O3/TREO≤0.1%。为了提高抛光效果,在湿法合成工序配入了起化学作用的氟元素,所制得的稀土抛光粉能够得到较好的抛光研磨表面。本发明通过对混合氯化稀土沉淀、氟化、湿磨、焙烧得到含镨稀土抛光粉,其体积中心粒径D50为0.3~1μm,具有良好的悬浮性,分散性,具有粒度分布窄,抛光研磨表面光洁度高的优点。特别适用于高精密元件的抛光。