氟氧化镧铈稀土抛光液
2022-07-19
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本发明公开了一种氟氧化镧铈稀土抛光液,包括氟氧化镧铈稀土抛光粉、分散剂、增效剂和溶剂;氟氧化镧铈稀土抛光粉的含量为20%~30%,分散剂的含量为0.5%~0.8%,增效剂的含量为3%~5%;pH为7.5~9;增效剂为十二烷基苯磺酸20%~25%、十二烷基三甲基氯化铵50%和二甲基甲酰胺25%~30%的混合物。本发明的抛光液中含有稀土抛光液、分散剂和增效剂,通过对稀土抛光粉和增效剂的配比调节,使抛光效果达到最优,划伤减少,具有更高的抛光速度。