稀土抛光粉及其制造方法
2022-07-18
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本发明公开了一种稀土抛光粉及其制造方法,该抛光粉作为研磨材料,含有氧化铈CeO2、氧化镧La2O3、氧化镨Pr6O11,其稀土总量TREO在90wt%以上,同时877-3型稀土抛光粉稀土总量TREO中,CeO2含量的比例占70-80%,La2O3含量的比例占19-29%,Pr6O11含量比例占0.05-2%,Nd2O3含量比例小于0.2%;为保证必要的研磨速度,在湿法合成工序配入了起化学作用的氟F元素,并控制产品粒度的初步形成,因此所制得的877-3型稀土抛光粉能够迅速得到抛光效果好的研磨表面。