一种钕铁硼稀土永磁器件的制造方法
2022-07-18
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本发明公开了一种钕铁硼稀土永磁器件的制造方法,首先成钕铁硼稀土永磁毛坯,之后进行机械加工制成钕铁硼稀土永磁体,之后进行镀膜工序制成钕铁硼稀土永磁器件,镀膜共分3层,第一层为磁控溅射镀层,镀层厚度为:0.02-2μm,第二层为磁控溅射镀一种以上靶材的混合镀层,镀层厚度为:1-20μm,第三层为磁控溅射镀层,镀层厚度为:0.1-5μm;采用本发明的磁控溅射镀膜作稀土永磁器件的表面处理工序,不仅提高了稀土永磁器件的抗腐蚀能力,同时也提高了稀土永磁器件的磁性能。