用于腔室盖与喷嘴上之稀土氧化物系涂层的离子辅助沉积

2022-06-02 4440 5440K 0
制造物件的方法包含提供用于蚀刻反应器的盖或喷嘴。接著进行离子辅助沉积()以沉积保护层至盖或喷嘴的至少一表面上其中保护层系厚度小于300µ、平均表面粗糙度为10微吋或以下的抗电浆稀土氧化物膜。


您还没有登录,请登录后查看详情



举报收藏 0打赏 0评论 0
本类推荐
下载排行
网站首页  |  关于我们  |  联系方式  |  使用协议  |  版权隐私  |  网站地图  |  排名推广  |  广告服务  |  积分换礼  |  网站留言  |  RSS订阅  |  违规举报