一种镧系稀土氧化物复合TiSiN涂层

本发明涉及一种镧系稀土氧化物复合TiSiN涂层，属于刀具涂层制造技术领域。具体的涂层成分含3～8mol.％的镧系稀土氧化物，其中镧系稀土元素均匀分布在涂层中。制备过程包括将经过离子刻蚀的基材置于真空室中，安装钛源靶材、硅源靶材以及稀土氧化物靶材，氮气环境下，通过磁控溅射法进行镧系稀土氧化物复合TiSiN涂层的沉积。本发明提供的镧系稀土氧化物复合TiSiN涂层，镧系稀土氧化物与Ti，Si，N元素相容性高，可以被用做耐高温涂层的增强、增韧添加剂，可显著提高涂层的耐高温能力，并且可以在物理气相沉积设备中一次性完成，不需要增添额外步骤，主要原料均为工业常用元素，具有成本低的优势。