一种用于研磨抛光液的混合装置

本实用新型公开了一种用于研磨抛光液的混合装置，包括混合桶，混合桶的内侧顶部位置处固定安装有支撑架，支撑架的内侧转动连接有转动轴，转动轴的外侧固定连接有储料盒，储料盒的顶端开设有注料孔，注料孔的内侧螺纹连接有密封盖，储料盒的一侧端面开设有出料孔，转动轴的顶端固定连接有旋转板，转动轴的外侧与储料盒对称位置处固定连接有混合板，通过转动旋转板从而带动转动轴在混合桶的内部旋转，从而使稀土铈通过出料孔加注到原液中，然后再通过混合板将聚集的稀土铈打散，从而增加成核质点起到阻隔作用, 减少纳米金刚石微晶的硬团聚，防止硬团聚纳米金刚石微晶对硅片表面造成较深的划伤，从而提升硅片加工的良品率。