一种Ag-稀土金属氧化物纳米线透明导电薄膜的制备方法
2022-07-12
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本发明公开了一种Ag-稀土金属氧化物纳米线透明导电薄膜的制备方法,包括步骤:将清洗干净的玻璃衬底放入制膜设备反应室中;将金属银粉末和稀土金属氧化物粉末分别放置在两个瓷舟中,再将两个瓷舟放入制膜设备反应室的恒温中心位置,玻璃衬底置于两个瓷舟上方并与两个瓷舟紧贴;对反应室抽真空处理;对反应室加热到500~1100℃后,向反应室通入氩气,并对银源和稀土金属氧化物源蒸发处理;待上述步骤完成后,制得所述Ag-稀土金属氧化物纳米线透明导电薄膜。本发明采用热蒸发设备,制备Ag-稀土金属氧化物纳米线透明导电薄膜,得到薄膜的方块电阻低至15Ω/□,可见光透过率达90%,表面功函数达2.7eV。