稀土抛光液及其制备方法

本发明提供了一种稀土抛光液及其制备方法，所述稀土抛光液，包括如下重量份的组分：稀土抛光粉20-50份，有机溶剂3-15份，粘土1-5份，水30～76份。本发明解决了抛光粉在水中的悬浮分散，克服了目前抛光液在制备、储存过程中的胶连问题及使用过程中具有良好清洗问题，具有悬浮分散性能好、抛光速率快、抛光精度高、抛光制品的清洗性能优异等特点。本发明适用于集成电路、平面显示、光学玻璃等电子信息产业精密密器件的表面抛光加工，满足了日益严格的商业对抛光材料在精度、抛蚀量、易清洗等抛光良率的要求。