一种高面型高粗糙度的光学器件抛光方法
2022-06-02
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本发明公开了一种高面型高粗糙度的光学器件抛光方法,涉及光学器件加工技术领域, 包括以下步骤:步骤一:制作抛光盘基底;步骤二:制作稀土抛光盘;步骤三:抛光盘仿形加工;步骤四:抛光盘磁流变精修;步骤五:光学器件抛光。本发明使用经过配比的稀土制作稀土抛光盘,根据待加工零件通过仿形加工出较高面型精度的抛光盘,使用磁流变抛光方式对抛光盘抛光,提高抛光盘的表面光洁度,再使用制作好的抛光盘对工件进行抛光,稀土抛光盘大大提高了抛光效率,经过仿形加工后的抛光盘也可提高工件的面型精度,完成对工件的抛光且兼顾工件的面型精度,对抛光工作人员要求较低,工作效率高,生产经济效益好。