稀土氧化物基单片式腔室材料

2022-07-07 3370 1193K 0
本申请公开了稀土氧化物基单片式腔室材料。一种固体烧结陶瓷制品可包括固溶体,所述固溶体包含:约30摩尔%至约60摩尔%的浓度的Y2O3;约20摩尔%至约60摩尔%的浓度的Er2O3;以及约0摩尔%至约30摩尔%的浓度的ZrO2、Gd2O3或SiO2的至少一者。或者,所述固体烧结陶瓷制品可包括固溶体,所述固溶体包含40‑100摩尔%的Y2O3、0‑50摩尔%的ZrO2以及0‑40摩尔%的Al2O3。


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